半导体行业再传捷报,微星携手格罗方德

作者:山东微星节能科技股份有限公司 浏览: 发表时间:2018-01-02 00:00:00

    近日,微星成功签下格芯(成都)集成电路制造有限公司(以下简称“成都格芯”)一期项目干盘管(DCC)采购订单,合同金额超过千万元。

    成都格芯是格罗方德(GLOBALFOUNDRIES)在全球投资规模最大、技术水平最先进的12英寸晶圆片生产基地,建成后将成为格罗方德目前在德国、美国及新加坡之外的第四个生产中心,也是中国西南地区的首个12英寸晶圆生产基地,项目累计投资超过100亿美元。成都格芯一期设计产能月产两万片,预计2018年底投产;二期采用格罗方德最新的22纳米FDSOI工艺技术,设计月产能六万五千片,预计2019年第四季度投产。一期建设主流CMOS工艺12英寸晶圆生产线,预计2018年底投产;主要为0.13微米、0.18微米,从新加坡转移至成都,产能2万片/月。

    格罗方德(GLOBALFOUNDRIES),总部位于美国加州,是全球第二大晶圆代工厂。公司运营着14~28纳米节点的先进工艺,32至180纳米节点的成熟主流工艺,以及射频特种工艺,并正在研发5纳米/7纳米工艺。格罗方德公司凝聚了来自AMD,特许半导体和IBM的半导体工艺研发、制造和产品开发的顶尖技术专家和工程师团队,继承了三家公司在过去30年中积累的工艺技术。丰富的专利储备在全球纯晶圆代工企业中排名第一。



        晶圆生产必须在洁净环境下进行,成都格芯项目将打造6.5万平方米的晶圆生产洁净室,其洁净等级为100级,比一般医院的手术室还要洁净百倍。手术室的面积只有几十平方米,晶圆厂房则要保证6.5万平方米的空间都保持100的洁净度,局部房间甚至要达到1级标准。1级标准是什么概念?即每立方英尺的空气中0.5微米或稍大些的微尘数量不超过1个。可以参照对比的是,人的头发丝直径为80微米,即在每立方英尺的空气中相当于1/ 160根头发丝粗细的微尘数量不超过1个。

        目前半导体行业的洁净室空调系统通常常用“MAU+FFU+DCC”系统,MAU主要控制室内的湿度和保证室内的正压,FFU通过空气循环过滤保证环境洁净度,而DCC主要是来除去室内显热从而保证室内温度。干盘管作为半导体生产环境的重要保障设备,对产品性能和品质具有严苛的要求。微星凭借多年来在干盘管设计、制造方面的经验,深得半导体及电子行业用户信赖,本项目也将成为微星干盘管产品在半导体行业的经典应用案例。


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